[기계설계로봇] 기계설계로봇공학과 전자소자연구실 석사과정 진혜인, 마이크로전자 및 패키징 학회지 우수논문상 수상 (지도교수: 김성동)

일반대학원 기계설계로봇공학과 전자소자연구실(지도교수: 김성동) 소속 진혜인 석사과정 학생이 마이크로전자 및 패키징 학회지(Journal of the Microelectronics and Packaging Society) 제32권 3호에 게재한 논문으로 우수논문상을 수상했다.

한국마이크로전자 및 패키징 학회는 매 호마다 학술적 기여도가 높은 논문 한 편을 선정해 우수논문상을 수여하고 있으며, 진혜인 학생의 논문「O₂ 플라즈마를 이용한 접합 처리 조건에 따른 SiCN–SiCN 본딩 특성」이 이번 수상작으로 선정되었다.

해당 연구는 O₂ 플라즈마가 SiCN 계면 및 본딩 특성에 미치는 영향을 체계적으로 분석하여 소재 및 공정 분야의 이해를 높였다는 점에서 높은 평가를 받았다. 이를 통해 차세대 반도체 패키징 기술 개발에 기여할 수 있는 가능성을 인정받으며 수상자로 결정되었다.